SEM 操作教程

教程简介

本教程介绍扫描电子显微镜（SEM）的基本操作流程，适用于初次使用的研究人员。

样品制备

• 导电样品：直接粘贴于样品台
• 非导电样品：喷金或喷碳处理（5–10 nm）
• 含水样品：需冷冻干燥处理

操作步骤

1. 将样品台放入样品仓，抽真空（< 10⁻³ Pa）
2. 打开电子枪，设置加速电压（通常 5–20 kV）
3. 低倍找到目标区域
4. 逐步提高倍率，调焦和消像散
5. 采集 SE 或 BSE 图像
6. 需要成分分析时切换 EDS 模式

注意事项

• 仓门未关闭严禁开高压
• 禁止触碰探头
• 样品高度不可超过限位