XPS X 射线光电子能谱

仪器简介

X 射线光电子能谱（XPS）是一种高灵敏度的表面分析技术，可检测样品表面约 10 nm 内的元素组成和化学状态，常用于催化剂和薄膜材料的价态分析。

主要应用

• 元素定性与半定量分析
• 化学键合态分析（如 Fe²⁺/Fe³⁺）
• 深度剖面分析（配合氩离子溅射）
• 价带谱测量