SEM/EDS 扫描电镜

仪器简介

扫描电子显微镜（SEM）结合能量色散 X 射线光谱（EDS）可同时获取样品的微观形貌和元素分布信息，分辨率可达纳米级。

主要功能

• 二次电子（SE）形貌成像
• 背散射电子（BSE）成分衬度
• EDS 元素定性/半定量分析
• 元素面分布（Mapping）